Univerza v Mariboru naroča vsestranski raziskovalno-razvojni sistem za depozicijo tankih plasti. Sistem za depozicijo tankih plasti mora omogočati depozicijo visoko kvalitetnih dielektričnih tankih plasti s fizikalno (vakuumsko) depozicijo iz parne faze (PVD), natančneje s pomočjo magnetronskega naprševanja. Krmilni sistem mora zagotavljati zaprtozančni regulacijski sistem, posebej namenjen za nadzorovane depozicije materialov. Podrobnejša specifikacija javnega naročila, lokacija dostave in vnos opreme, roki dobave in garancijski rok ter ostale zahteve so razvidne iz priloge »Tehnične specifikacije«.

Več na portalu javnih naročil